为促进首台（套）严重技能配备立异开展和推行应用，加强工业、财务、金融、科技等国家支撑方针的协同，工信部于9月9日印发《首台（套）严重技能配备推行应用辅导目录（2024 年版）》（以下简称《目录》）告诉，在文件列表包含国产氟化氪光刻机（110nm），和氟化氩光刻机（65nm）等集成电路要害出产设备。

  工信部微信大众号“工信微报”介绍，严重技能配备是国之重器，事关综合国力和国家安全。我国首台（套）严重技能配备是指国内完成严重技能打破、具有知识产权、姑且还没有获得显着商场成绩的配备产品，包含整机设备、中心体系和要害零部件等。

  《目录》中的电子专用配备目录下说到，集成电路出产设备方面包含化氟化氪光刻机，光源248纳米，分辨率≤110nm，套刻≤25nm；氟化氩光刻机，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。

  除了光刻机，其他集成电路出产设备还包含硅外延炉、湿法清洗机、氧化炉、涂胶显影机、高能离子注入机、低能离子注入机、等离子干法刻蚀机、特征金属膜层刻蚀机、化学气相堆积设备、物理气相堆积配备、化学机械抛光机、激光退火配备、光学线宽量测配备等。

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