永庚科技生产基地试生产当天，张爱强教授（左一）检查生产线设备。（受访企业 供图）

  最近，福建永庚科技有限公司（以下简称“永庚科技”）从2022年底着手建设的生产基地，开始投入试生产。它聚焦半导体芯片制造领域高端光刻介质材料及高端半导体清洗系列材料的开发和产业应用，成功实现了半导体关键材料国产化的前半程目标。

  这家企业由嘉庚创新实验室（以下简称“嘉庚实验室”）半导体关键材料项目群孵化而来，从项目立项到成果转化落地、再到成立规模化公司实现产业化，用时不过4年。项目负责人、永庚科技董事长张爱强教授目标明确：“我们将在全国率先实现半导体关键材料成果的商业化推广及量产应用，为我国半导体产业的自主可控和可持续发展贡献力量。”

  近日，在永庚科技的半导体关键材料实验室里，一名工程师正在开展高端半导体清洗剂的配方研发和性能验证。他介绍，清洗剂的配方经过不断调配优化，对晶圆杂质的清洗能力、对介质的保护力和抗侵蚀的能力等都是重要的检验标准，目前研发团队开发出的无氟、无羟胺高端半导体清洗剂产品，摆脱了供应链上关键原材料——羟胺要从德国巴斯夫公司进口的局面。

  在集成电路芯片制作的完整过程中，高端光刻材料、高端半导体清洗剂、蚀刻液等先进材料与核心技术仍掌握在日本及欧美企业手上。三年来，张爱强团队承接国家科技项目，成功研发出这些目前在国内尚属空白、还没有量产纪录，却是芯片生产制造中一定要使用的高科技材料。

  作为半导体生产制作的完整过程中最重要的工艺之一，光刻决定着芯片的性能。与光刻胶一起配套使用的高端光刻介质材料，目前在国内也尚无量产应用纪录。“这种核心材料能减少99%以上的衬底反射光强度，并消除光刻曝光工艺中的‘驻波效应’，提高制造精度和分辨率。”张爱强介绍，他们从技术层面上攻克了行业现有产品一直存在的“释气”科技难题，自主研发的高端光刻介质材料在各项关键技术指标上已比肩甚至优于国际最先进产品。

  针对生产线实际难点、痛点，张爱强团队还开发出应用于LED芯片制造工艺的光刻胶去胶液，在抗金属腐蚀和抗老化性能及槽液寿命上有了突破性提升，整体性能优于进口最优竞品。

  5月15日，永庚科技位于邵武金塘工业园区的生产基地一期工程建设竣工。张爱强按下了高端配方型湿电子化学品生产线的启动键，宣布产品正式投入试生产，计划今年内实现批量供应，年产能可达12480吨。

  目前，永庚科技已经与国内多家半导体有突出贡献的公司建立全面战略合作伙伴关系，产品陆续在中芯国际、三安光电、厦门联芯等计算机显示终端通过生产线实际应用性能验证。此外，一条年产85000加仑的高端光刻介质材料生产线也即将投产。

  从立项、建立项目团队，到技术突破、产品成功研发，顺利实现产业化落地，张爱强表示，这当中有巨大的挑战，更有“前所未有的成就感”。

  “这一产业化成果，将在全国范围内率先实现半导体关键材料的商业化推广及量产应用。”张爱强介绍，这一个项目也是嘉庚实验室首个采用“飞地”合作模式的示范项目——除了永庚科技，还孵化了厦门永庚新材料研究院有限公司（以下简称“永庚研究院”），打造“生产制造（南平邵武市）+研发运营（厦门市）”双基地。目前，两家产业化公司已获得超过2.4亿元的社会资本融资。

  目前，依托嘉庚实验室的先进研发平台、完善的基础设施以及高端人才，永庚研究院持续研发半导体领域关键材料，助力我市核心半导体产业转型升级。

  除了企业负责人、厦大兼职教授，张爱强有另一个重要身份：作为嘉庚实验室副主任主管产业化平台，致力“从实验室到市场”过程中的体制机制创新。

  时间回溯到1982年，张爱强从本科到博士，十多年的宝贵光阴都在厦门大学化学系度过。作为中国著名电化学家田昭武院士的学生，张爱强不仅接受了严谨的基础理论培训，更从导师身上传承了创造性思维与科研方法。

  随后，他前往新加坡国立大学深造，仅仅一年，便在国际顶级专业期刊发表了4篇高质量学术文章，获得一项国际专利，奠定了他在国际上的学术地位。此后，他先后在多家国际知名半导体企业担任要职。

  2020年，已在海外工作生活了27年的张爱强，怀着报效祖国和母校的情怀，回厦开启全新的人生旅程。他应邀出任嘉庚实验室副主任及厦大兼职教授，全力推动半导体高科技研发和产业化运营管理工作。当年7月，由他主导的嘉庚实验室半导体关键材料项目群正式立项开发。

  “政府、学校、实验室都给予了最大限度的支持，体现出各方对推动科技成果转化、创新体制机制的决心。”张爱强说，他一手抓半导体关键材料项目，一手抓以产业化为导向的创新型体制机制，打造嘉庚实验室科技项目产业化的典范之一。

  这几年，嘉庚实验室持续探索产业转化的机制灵活性，建立起了一套相对完善的以产业化为导向的创新型体制机制，设计了特色化的商业模式，并提供对应的产业转化方案，蹚出一条具有“嘉庚实验室特色”的产业化发展路径。