金融界2025年1月27日音讯,国家知识产权局信息数据显现,北京年代航芯科技有限公司请求一项名为“一种谐振梁式压力传感器的制作办法”的专利,公开号CN 119349501 A,请求日期为2024年10月。
专利摘要显现,本发明公开了一种谐振梁式压力传感器的制作办法,归于微机电体系技术领域,选用SOI硅片,在衬底硅层反面使用各向异性干法刻蚀加工中心深槽和环形深槽,构成感压膜片和鸿沟区;将鸿沟区的底面键合在底座上;在器材层使用各向异性刻蚀构成谐振梁和固支区;使用等离子体深硅刻蚀工艺将环形深槽刻穿;选用反应离子刻蚀去除梁底部的二氧化硅,取得悬浮的梁结构和支撑柱。
天眼查资料显现,北京年代航芯科技有限公司,成立于2022年,坐落北京市,是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册本钱2000万人民币,实缴本钱1520万人民币。经过天眼查大数据分析,北京年代航芯科技有限公司具有行政许可1个。