主要用于除去透射电镜样品及样品杆上的污染，防止碳沉积以降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判。还可以利用该仪器清洗各类光阑等电子显微镜配件。特别适用于场发射扫描电镜和场发射透射电镜。用这种低能高频等离子体清洗样品表面，不会改变样品元素成份和表面结构特征。

  1.可对多孔碳膜进行高效且无破坏的清洗，提高样品在低电压下的成像能力，在化学微量分析时提高其精度

  2.无油真空系统：泵体部分由多级隔膜泵和超净音分子泵组成，在保证真空度的同时，可在两分钟之内达到抽真空和放气过程，整个清洗过程在4分钟内可以完成

  6. 重现性：可以自动记录下同类产品清洗的条件，下次清同类产品时可以样条件进行