收购中心

  是通过长时间验证的具有优秀功能和高牢靠性的高功能长途等离子体源，是堆积和蚀刻室清洁工艺的关键子组件，消除了工艺副产物从室壁积累，添加工艺东西的寿数，并削减薄膜污染的来历。ASTRON Series RPS 大范围的应用在半导体各制程的清洁环节中，能够以各种不同的装备安装在硅晶圆或大面积基板工艺室上。ASTRON Series RPS作用杰出且愈加经济牢靠，为CVD室清洁，FPD（平板显示器）供给所需的反响气体室清洁，太阳能室清洁，光刻胶堆灰，氧化，氮化和化学消减。