等离子清洗可以除掉器件外表细微的油膜、锈迹或其他油类污物，并且在等离子清洗后，不会在器件外表留下残余物。

  这些活性物质在与资料外表产生作用时，可以去除外表的污染物和有机物，一起在资料外表引进含氧极性基团，如羟基、羧基等，这些基团的引进增加了资料的亲水性。

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