近来国内多家科研院所密布发布等离子体刻蚀设备的收购招标公告。其间，40%的招标公告明确要求收购国产等离子体刻蚀机。

  刻蚀是半导体制作工艺，微电子IC制作工艺以及微纳制作工艺中的一种很重要的过程。是与光刻相联系的图形化处理的一种首要工艺。所谓刻蚀，实际上狭义了解便是光刻腐蚀，先经过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后经过其它方法完成腐蚀处理掉所需除掉的部分。刻蚀是半导体制作中重要的一环，其间尤以等离子体刻蚀重要。

  依据Gartner 预算，刻蚀设备占全体建厂设备出资的 15%左右，其间介质刻蚀和硅刻蚀设备别离能占到其间的45%以上，金属刻蚀大约占到3-4%。2018-2020年国内晶圆厂建造对应的刻蚀设备商场空间别离为150、150、160 亿元，而其间介质刻蚀设备商场需求别离为74、76、80 亿元，硅刻蚀设备商场需求别离为71、73、77 亿元，金属刻蚀设备需求别离为4.5、5、5 亿元。

  跟着近些年半导体职业的炽热，对刻蚀的研讨更是成为了各大相关科研院所的一个研讨热门，带动了相关刻蚀设备的收购，近来国内科研院更是连续发布数条刻蚀设备的招标公告。

  一、《中国科学院微电子研讨所感应耦合等离子体刻蚀机收购项目公开招标公告》

  中国科学院微电子研讨所感应耦合等离子体刻蚀机收购项目 招标项目的潜在招标人应在获取招标文件，并于2020年09月01日 14点30分（北京时间）

  二、《南开大学材料科学与工程学院介质和磁性材料感应耦合等离子体刻蚀机收购项目公开招标公告》

  南开大学材料科学与工程学院介质和磁性材料感应耦合等离子体刻蚀机收购项目 招标项目的潜在招标人应在公允（天津）招标署理有限公司天津市南开区红旗南路仁慈濠景世界大厦A座6层601室）获取招标文件，并于2020年08月27日 09点30分（北京时间）前递送招标文件。

  项目名称：南开大学材料科学与工程学院介质和磁性材料感应耦合等离子体刻蚀机收购项目

  山东大学激光离子束光刻刻蚀体系收购 招标项目的潜在招标人应在济南市高新区舜华路2000号舜泰广场6号楼2101室获取招标文件，并于2020年09月08日 14点30分（北京时间）前递送招标文件。

  收购需求：山东大学收购激光离子束光刻刻蚀体系一套，用于研讨开发相关科研工作。故拟收购一套激光离子束光刻刻蚀体系。（详见公告附件）

  四、《西北师范大学物理与电子工程学院根底与使用研讨渠道建造项目公开招标公告》

  西北师范大学招标项目的潜在招标人应在甘肃省公共资源交易网（）获取招标文件，并于2020-09-04 11:00:00（北京时间）前递送招标文件。

  收购需求：双通道体系数字源表(进口产品已证明) 1套、加热型磁力搅拌器 1台、手套箱 1台、压力可控型电动扣子电池封装机 1台、控温磁力搅拌器 1台、

  、电子防潮箱 1台、等离子体清洗机 1套、视频接触角张力测量仪 1套、实验室纯水机 1 台、鼓风干燥箱 1台、手套箱配套机械泵 1套、正入射软X射线套、激光诱导击穿光谱-拉曼联用谱仪 1套、双模式双恒电位仪(进口产品已证明) 1套、高精度分析天平 1台、旋转环盘电极(进口产品已证明) 1套、金属空气电池检测体系(进口产品已证明) 1套

  五、《北京工业大学20内在开展定额-教育部B类要点实验室建造经费项目（第2包）招标公告》

  北京工业大学20内在开展定额-教育部B类要点实验室建造经费项目（第2包）招标项目的潜在招标人应在北京市东城区朝内大街南竹杆胡同6号北京INN3号楼9层获取招标文件，并于2020年09月02日09点30分（北京时间）前递送招标文件。项目编号：BJJQ-2020-712-01、02、03项目名称：北京工业大学20内在开展定额-教育部B类要点实验室建造经费项目（第2包）

  跟着我国对半导体职业的全力支持，很多科研院所开端收购相关设备，半导体职业的出产检测等仪器设备远景宽广。

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