根据 SEMI 发布的数据，2015 年中国大陆半导体设备的市场规模为 53.54 亿美元。其中进口半导体设备的市场规模为 46.6 亿美元，同比增长 6.7%。同时我国国产半导体设备的销售规模为 47.17 亿元（折合6.94 亿美元），同比增长 5.3%。
2016 年中国大陆半导体设备的市场规模为 72.88 亿美元，比 2015 年增长 36.1%。其中进口设备的市场规模为 64.6 亿美元，同比增长 31.8%。国产设备的市场规模预计为 57 亿元（折合 8.28 亿美元），同比增长 20.8%。
2011～2016 年我国半导体设备的市场规模及增长率如表 1 所示[1]。可见，在此期间，除 2012 年受全球半导体市场疲软影响我国半导体设备市场减退外，其他年份均呈增长态势。其中，除进口设备规模一直增长外，国产设备虽然体量不大，但增长迅速，在国内半导体设备市场中的比例显著提升。2011～2016 年我国国产半导体设备的销售规模及增长率如图 1 所示。
2011 年我国半导体设备业受太阳能电池产业的激励，太阳能电池制造设备出现了爆发性的增长。2012～2013 年由于国内外太阳能电池产业受挫，我国半导体设备销售额严重下跌。2013 年以后，我国半导体设备转化为以高端集成电路设备和LED设备为主的产业体系，我国半导体设备市场呈现出理性稳步增长的态势。
2011 年我国半导体设备业受太阳能电池产业的激励，太阳能电池制造设备出现了爆发性的增长。2012～2013 年由于国内外太阳能电池产业受挫，我国半导体设备销售额严重下跌。2013 年以后，我国半导体设备转化为以高端集成电路设备和 LED 设备为主的产业体系，我国半导体设备市场呈现出理性稳步增长的态势。
2015 年我国进口半导体设备的进口数量及进口金额如表 2 所示。进口金额最大的前 5 类设备分别为等离子体干法刻蚀机、分步重复光刻机、全自动引线键合机、氧化/扩散炉和物理气相沉积设备（PVD）。进口数量最多的前 5 类设备分别是全自动引线键合机、晶圆切割设备、IC工厂专用自动搬运机器人、化学气相沉积设备（CVD）和等离子体干法刻蚀机[2]。
但是，近年来，随着我们国家 02 专项的集成电路重大装备研发及产业化项目的推进，有些设备如等离子体干法刻蚀机、先进封装光刻机、全自动引线键合机、物理气相沉积设备（PVD）和化学气相沉积设备（CVD，包括PECVD）等国产设备已逐步进入国内集成电路大生产线量产使用。国产设备替代进口设备的进程正在慢慢地推进[2]。
2016 年 9 月，在厦门举行的我国半导体设备年会上，中国电子专用设备工业协会公布了 2015 年我国半导体设备业发展的详情信息，并对 2016 年的情况做了预估。
2015 年我国半导体设备业的产品结构如图 3 所示。其中，集成电路设备已占行业产品的主体，2015 年销售额为 22.92 亿元，占行业出售的收益的 49%；太阳能电池片设备的销售额为 15.45 亿元，占行业出售的收益的 33%； LED 设备的销售额为 5.86 亿元，占 12%；分立器件及别的设备的销售额为 2.94 亿元，仅占 6% 左右。
2013～2015 年我国各类半导体设备的出售的收益及增长情况如表 3 所示。图 4 展示了2013～2015 年我国各类半导体设备出售的收益的发展趋势。
2015 年，在我国国产半导体设备出售的收益取得大幅度增长的同时，一批高端集成电路设备成功进入超大规模集成电路晶圆生产线和先进封装生产线正式量产使用。
表 4 列出了 2015 年进入超大规模集成电路晶圆生产线量产使用的有代表性的晶圆前道制造设备。表 5 列出了 2015 年进入集成电路先进封装生产线量产使用的有代表性的先进封装设备。
2015 年，随着国内 6 条高亮度 LED 国产化示范生产线建设，加快了国产 LED芯片关键设备的发展进程。2015 年进入高亮度 LED 国产化示范生产线的有代表性的国产设备如表 6 所示。
2015 年，随着国内太阳能电池芯片生产线的改建和扩建，一批智能化、自动化的太阳能电池芯片制造新设备也进入太阳能电池芯片生产线，其中有代表性的设备如表 7 所示。
据中国电子专用设备工业协会估测，2016 年我国国产半导体设备的出售的收益达到 57 亿元，比 2015 年增长 20.8%，各类设备的销售规模及增长率如表 8 所示。由此可见，2016 年我国半导体设备制造业进一步加快发展。
总之，在国家科技重大专项02 专项和国家集成电路产业高质量发展投资基金的全力支持下，2016 年又有多项研发的高端集成电路设备进入验证和验收程序，或者进入国内外主流集成电路生产线生产运行，国产集成电路设备出售的收益又有 20.8% 以上的快速稳步增长。
与此同时，国内光伏产业在经历了 2012～2013 年大幅度调整的基础上，继续保持理性、健康发展。国家的“光伏扶贫”和“领跑者项目”等政策扶持措施已成为中国光伏市场新的增长点。光伏企业将通过逐步扩大产能和加快淘汰落后生产线设备来降低产品成本和提升公司效益，这给我国太阳能电池芯片设备制造厂商带来了新的发展机遇。
但在 2016 年，LED 市场受恶性竞争的影响，导致业内多数企业亏损，行业投资减少，致使 LED 设备销售增长滞缓。估计到 2017 年将LED 市场调整到理性、有序发展轨道之后，LED 设备的销售情况会有所好转。
在“第十一届（2016 年度）中国半导体创新产品和技术”项目评选中，有 12 项国产半导体设备获得入选，如表 9 所示。
经中国半导体行业协会评选及公布的 2016 年中国半导体设备五强企业如表 10 所示。
在中国国内，半导体设备业与半导体材料业通称为半导体支撑业。根据中国电子专用设备工业协会的估测，2016 年国产半导体设备的销售规模为57.0 亿元，同比增长 20%[3]。
近年来，在国内集成电路产业持续加快速度进行发展的带动下，国内半导体设备业呈现出高增长的势头。在国家科技重大专项 02 专项和各级地方政府科学技术创新专项的全力支持下，多种先进制造设备开始替代进口设备，在国内集成电路大生产线上运行和使用。
[1] 王龙兴.2015年我国半导体设备与半导体材料业现状分析[J].集成电路应用,2016，33（12）.
[2] 金存忠.中国半导体设备制造业2015年经济运行分析和2016年展望[J].集成电路应用，2016，33（11）.
[3] 2017 年上海集成电路产业发展研究报告[M].电子工业出版社，2017-06.
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