从近三年净利润复合增加来看，近三年净利润复合增加为51.57%，最高为2020年的5.369亿元。

  2、中微公司：从近三年净利润复合增加来看，近三年净利润复合增加为132.73%，最高为2020年的4.922亿元。

  3、芯源微：从近三年净利润复合增加来看，近三年净利润复合增加为26.57%，最高为2020年的4883万元。

  产品包含光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机)，产品可用于6英寸及以下单晶圆处理(如LED芯片制作环节)及8/12英寸单晶圆处理(如集成电路制作前道晶圆加工及后道先进封装环节)。

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