产品介绍

  证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现芯源微（688037）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“一种光刻胶及金属层去除剥离单元的工艺腔体”，专利申请号为CN3.8，授权日为2024年7月12日。

  专利摘要：本实用新型归于半导体晶圆出产设备技术领域，具体地说是一种光刻胶及金属层去除剥离单元的工艺腔体，包含腔体结构、底板、顶板、前侧板、后侧板、左边板、右侧板，底板上设有若干排风口，底板的下方设有排风管道，各排风口别离与排风管道相连通，排风管道衔接外接抽气设备。本实用新型经过在底板上设置排风口并衔接外接抽气设备，可避免药液雾气外溢，避免药液雾气长期存在于防溅杯主体内，确保工艺腔体主体上其他元器件正常进行后续作业；经过在防溅杯主体外侧设置工艺腔体主体，可进一步起到阻挠工艺过程中发生的药液雾气从工艺腔体主体外溢至机台内部的效果。本实用新型设置布局合理，作业安稳牢靠，适用性好，便于保护。

  今年以来芯源微新取得专利授权22个，较去年同期增加了15.79%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研制方面投入了1.98亿元，同比增30.06%。

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  证券之星估值剖析提示芯源微盈余才能平平，未来营收成长性较差。归纳基本面各维度看，股价偏高。更多

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