中国首台光刻机问世达到全球第四代光刻机水平
时间: 2024-11-26 23:06:47 | 作者: 真空型等离子清洗机
产品介绍
中国不能生产光刻机的历史结束了。2024年9月2日,工业与信息化部公布的《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》中,披露了两款国产光刻机,即国产氟化氪光刻机、氟化氩光刻机。
光刻机是一种投影曝光系统。在半导体制作的步骤中,光刻机会投射光束,通过曝光在半导体材料上蚀刻电路,然后经过沉积、蚀刻、掺杂,架构出不一样的材质的线路。此制程被一再重复,就能形成集成电路。
光刻机到目前为止,共经历了五代发展,从最早的第一代436波长,再到第二代光刻机开始使用波长 365nm i-line,第三代则是 248nm 的 KrF 激光,第四代就是 193nm 波长的 DUV 激光,这就是 ArF 准分子激光。
氟化氩(ArF)准分子激光源光刻机,光源实际波长突破 193nm,缩短为 134nm,NA 值为 1.35,最高可实现 7nm 制程节点。
只要做出DUV光刻机,很快就会做出EUV光刻机,这两款光刻机并无太大的差别,无非就是光源的改变,从193nm的紫外线nm米的紫外线,工作台绝大多数都是一样的,原理更是一样的。也就是说,中国制造出第五代光刻机为时不远了。
就目前中国的光刻机水平,能制造出满足空调、洗衣机、汽车等各类工业品芯片的需求。
一个国家的发展越来越离不开高端芯片,一个国家越是发展得越快对高端芯片的需求量也就越大。中国5G技术的全球领先发展,对芯片需求占到世界的50%以上。而中国的光刻机制造起步较晚,所需高端芯片多以代加工或进口为主。
一直视美国为传统盟友的荷兰政府,出于美国的压力,一直不敢把高端光刻机卖给中国。前不久,荷兰政府在美国施压后作出决定:计划限制阿斯麦为中国客户提供维修、维护半导体设备的服务,这将导致中国客户的部分光刻机设备最快在2025年就可能没办法运行。
光刻机刻进了中国人的骨子里,芯片伤了中国人的心。光刻机、芯片让中国人更加清醒地认识到:科学技术是第一生产力。于是,科技部门的改革是本轮党和国家机构改革的重中之重,中央科技委的组建,体现党中央对科学技术工作的重视达到历史新高度,全国各地党委也纷纷组建科技委员会。中国科学技术工作的春天来了,科技在春雨的滋润下硕果满枝头。
这次工业与信息化部公布的《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》中,除披露的两款国产光刻机之外,还有很多国之重器:
高端工业母机、电子专用装备、电力装备、大型矿山和冶金装备、大型石油和化工装备、先进节能环保装备、先进轨道交通装备、船舶与海洋工程装备、航空航天装备、新型农业机械装备、大型工程机械、新型轻工和纺织机械、高端医疗装备、精密仪器仪表、重大技术装备关键配套及基础件。
这里头还值得特别一提的有:三代核电(华龙一号、 CAP 系列),独创“177堆芯布置”和“能动与非能动相结合”,创新核岛与安全壳设计,应用数字化与智能化技术,具备安全性和经济性突出的特点,技术指标达到国际先进水平。
世上无难事,只要肯登攀。原计划一万年,没想到短短几年就已经实现。伟大的中国人民万岁!没有做不到的。
千万别自嗨!还是要埋头苦干,实干兴邦!向科技工作人员致敬![赞][赞][赞]
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