产品介绍

  1.本实用新型涉及等离子机设备技术领域，具体为一种等离子去胶机的电极结构。

  2.用于去除基片表面刻蚀工艺过程中作为刻蚀材料保护膜的光刻胶掩膜,也可用于基片表面其它有机物的等离子体清洗。中国专利cn207802489u公布了新型等离子发生电极板，新型等离子发生电极板，第一横向铝管、间隔设置的纵向铝管和第二横向铝管焊接形成栅格结构，结构新颖，制造安装便捷，重量轻；格栅结构设计使等离子体的扩散距离大幅度缩短，各电极板之间的等离子场强差异可以在较短的时间内获得平衡，提高了等离子场的均匀性；采用了方形铝管通冷却水，大幅度提高了电极的散热效果和效率。现有的等离子去胶机中的电极板在安装时为固定不变，进而不能够随着工件的厚度变化而改变上电极板与下电极板之间的距离，从而会影响到对工件的去胶效率。为此，要设计新的技术方案给予解决。

  3.本实用新型的目的是提供一种等离子去胶机的电极结构，以解决上述背景技术中提出的等离子去胶机中的电极板在安装时为固定不变，进而不能够随着工件的厚度变化而改变上电极板与下电极板之间的距离，从而会影响到对工件的去胶效率的问题。

  4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种等离子去胶机的电极结构，包括去胶装置，所述去胶装置包含安装箱、顶盖、上电极板、支撑座、第一滑柱、第二滑柱和下电极板，所述安装箱的内腔内侧壁镶嵌有第一屏蔽网，所述顶盖镶嵌于所述安装箱的顶部，两个所述第一滑柱和两个所述第二滑柱通过螺栓固定有所述顶盖的底部，所述上电极板与所述第一滑柱和所述第二滑柱滑动连接，所述第一滑柱的前侧壁放置有连接板，所述连接板内部插接有螺杆，所述螺杆贯穿所述连接板和所述第一滑柱与所述上电极板侧边接触，所述下电极板通过固定座固定于所述安装箱内腔底部，所述支撑座通过螺栓固定于所述安装箱内腔下部。

  5.为了更好的提高安装箱与顶盖之间的连接密封性，作为本实用新型的一种等离子去胶机的电极结构优选的，所述安装箱的顶部开有卡槽，所述顶盖的底部通过螺栓固定有卡条，所述卡槽与所述卡条卡接。

  6.为了避免安装箱内的电离辐射向外扩散，作为本实用新型的一种等离子去胶机的电极结构优选的，所述顶盖和所述安装箱内部均镶嵌有第二屏蔽网。

  7.为了增大上电极板与第一滑柱之间的受力面积，使得上电极板与第一滑柱之间始终垂直，避免发生倾斜，作为本实用新型的一种等离子去胶机的电极结构优选的，所述上电极板靠近所述第一滑柱的一侧插接有平衡板，所述上电极板通过所述平衡板与所述第一滑柱接触。

  8.为了提高上电极板移动的稳定性，作为本实用新型的一种等离子去胶机的电极结

  构优选的，所述上电极板靠近所述第二滑柱的一侧通过螺栓固定有滑块，所述上电极板通过所述滑块与所述第二滑柱滑动。

  9.为了避免螺杆与上电极板硬性接触而发生损坏，作为本实用新型的一种等离子去胶机的电极结构优选的，所述螺杆与所述上电极板的接触端外部套接有橡胶套。

  10.与现存技术相比，本实用新型的有益效果是：该等离子去胶机的电极结构的设置，结构设计合理，通过在顶盖的底部安装有第一滑柱和第二滑柱，进而上电极板通过连接板和螺杆实现在沿着第一滑柱和第二滑柱滑动，从而能够改变上电极板与工件之间的距离，随着工件的厚度增加而上移，从而可以有明显效果地的提高工件去胶效率。

  13.图中：100、去胶装置；110、安装箱；111、卡槽；112、第一屏蔽网；120、顶盖；121、卡条；130、上电极板；140、支撑座；150、第一滑柱；151、平衡板；152、连接板；153、螺杆；154、滑块；160、第二滑柱；170、第二屏蔽网；180、下电极板。

  14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

  16.本技术方案中，一种等离子去胶机的电极结构，包括去胶装置100，去胶装置100包括安装箱110、顶盖120、上电极板130、支撑座140、第一滑柱150、第二滑柱160和下电极板180，安装箱110的内腔内侧壁镶嵌有第一屏蔽网112，顶盖120镶嵌于安装箱110的顶部，两个第一滑柱150和两个第二滑柱160通过螺栓固定有顶盖120的底部，上电极板130与第一滑柱150和第二滑柱160滑动连接，第一滑柱150的前侧壁放置有连接板152，连接板152内部插接有螺杆153，螺杆153贯穿连接板152和第一滑柱150与上电极板130侧边接触，下电极板180通过固定座固定于安装箱110内腔底部，支撑座140通过螺栓固定于安装箱110内腔下部；

  17.在这种技术方案中，安装箱110与顶盖120相互配合使用组成一个线用于储存待去胶的工件，上电极板130和下电极板180相互配合使用用于将氧气电离成离子和原子，利用离子去除工件表面的胶，第一滑柱150和第二滑柱160相互配合使用用于实现上电极板130在竖直方向上的上下移动，第一屏蔽网112用于防止安装箱110内腔中产生的辐射向外扩散，连接板152和螺杆153相互配合使用用于对上电极板130的位置做锁紧。

  18.在有的技术方案中，参考图1-2，安装箱110的顶部开有卡槽111，顶盖120的底部通过螺栓固定有卡条121，卡槽111与卡条121卡接。

  19.在这种技术方案中，卡槽111和卡条121相互配合使用可以有明显效果地的提高安装箱110

  20.在有的技术方案中，参考图2，顶盖120和安装箱110内部均镶嵌有第二屏蔽网170。

  21.在这种技术方案中，第二屏蔽网170为了对第一屏蔽网112的防护性能进行加强，对安装箱110内的电离辐射进行二次防护。

  22.在有的技术方案中，参考图1-2，上电极板130靠近第一滑柱150的一侧插接有平衡板151，上电极板130通过平衡板151与第一滑柱150接触。

  23.在这种技术方案中，平衡板151的使用用于增大上电极板130与第一滑柱150之间的接触面积，进而能够使得上电极板130始终与第一滑柱150保持垂直，避免其发生倾斜，而影响到对工件的清洗效率。

  24.在有的技术方案中，参考图2，上电极板130靠近第二滑柱160的一侧通过螺栓固定有滑块154，上电极板130通过滑块154与第二滑柱160滑动。

  25.在这种技术方案中，滑块154的使用可提升上电极板130与第二滑柱160之间滑动的稳定性，使得上电极板130能够顺畅的沿着第二滑柱160上下滑动。

  26.在有的技术方案中，参考图2，螺杆153与上电极板130的接触端外部套接有橡胶套。

  27.在这种技术方案中，螺杆153穿过平衡板151与上电极板130的侧边接触，螺杆153的端部通过橡胶套与上电极板130的侧边接触，螺杆153与连接板152之间螺纹连接，进而对橡胶套产生挤压力，进而对上电极板130做挤压，完成对上电极板130的位置锁定。

  28.工作原理：先根据待清洗的工件厚度对上电极板130在第一滑柱150和第二滑柱160上的位置做调节，若厚度较小则将上电极板130沿着第一滑柱150和第二滑柱160向下移动，若厚度较厚则将上电极板130沿着第一滑柱150和第二滑柱160向上移动，确定位置后将工件放置在支撑座140上，再旋紧螺杆153，螺杆153对上电极板130的位置做锁紧，再将顶盖120盖在安装箱110的顶部并进行按压使得卡条121卡进卡槽111中，此时打开真空泵(图中未画出)将腔室中的气体抽出后再向内注入氧气，此时打开电源开关，使得上电极板130和下电极板180相互配合对氧气进行电离，进而对工件的表明上进行清洗。

  29.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间有任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

  30.虽然在上文中已经参考实施例对本实用新型进行了描述，然而在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并能用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，本实用新型所披露的实施例中的各项特征均可通过任意方式相互结合起来使用，在本说明书里面未对这些组合的情况做穷举性的描述仅仅是出于省略篇幅和节约世界资源的考虑。因此，本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

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