证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现中微公司（688012）新取得一项发明专利授权，专利名为“耐腐蚀涂层的镀膜办法及等离子体刻蚀零部件和反响设备”，专利申请号为CN3.5，授权日为2024年4月5日。

  专利摘要：本发明触及半导体加工技能领域，具体揭露了一种耐腐蚀涂层的镀膜办法，经过在衬底外表栽培晶种后再进行镀膜，晶种在镀膜过程中起诱导效果，处理了现存技能中衬底法线违背靶材分子流运动方向情况下，耐腐蚀涂层晶格成长方向违背衬底法线方向，涂层堆积不均匀，易掉落的缺点，本发明办法构成的涂层晶格的成长方向与衬底外表的法线方向平行，具有高细密的特性，与衬底的结合力较强，降低了涂层的掉落危险。进一步地，还供给了一种等离子刻蚀零部件和反响设备，经过上述办法在反响设备的反响腔内部的腔壁外表和等离子刻蚀零部件外表镀膜，得到的耐腐蚀涂层不易掉落，提升了刻蚀腔体环境的稳定性，进步工件执役寿数，进步了半导体刻蚀良率。

  今年以来中微公司新取得专利授权50个，较去年同期减少了5.66%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研制方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

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