中证APP讯（记者 杨洁）中国证监会上海监管局官网近来发布中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微半导体”）教导存案基本情况表，显现中微半导体已于2019年1月8日与海通证券、长江证券签署教导协议并进行教导存案。

  上述存案资料显现，中微半导体成立于2004年5月，注册资本4.81亿元，持股5%以上股东包含上海创投（20.02%）、巽鑫出资（19.39%）、南昌智微（6.37%）、置都出资（5.48%）、中微亚洲（5.15%），公司现在无实践操控人。

  中微半导体由尹志尧与杜志游、倪图强、麦仕义等40多位半导体设备专家兴办，首要深耕集成刻蚀机范畴，曾研发出中国大陆榜首台电介质刻蚀机，现在也是我国最抢先的半导体设备出产制作商。2018年12月，中微半导体自主研发的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证，功能优秀，将用于全球首条5纳米制程出产线纳米相当于头发丝直径的二万分之一，是集成电路制程工艺最小线年量产。

  刻蚀机是芯片制作的关键设备之一，曾一度是发达国家的出口控制产品。中微半导体联合发起人倪图强表明，中微与泛林、使用资料、东京电子、日立4家美日企业，组成了世界榜首队伍，为7纳米芯片出产线供给刻蚀机，约请经过台积电验证的5纳米刻蚀机，估计能取得比7纳米更大的商场份额。

  中微半导体的介质刻蚀设备、硅通孔刻蚀设备、MOCVD设备等均已成功进入国内外重要客户供给系统。到2017年末，已有620多个中微半导体出产的刻蚀反响台运行在海内外39条先进出产线上。

  依据世界半导体产业协会数据，估计2019年中国大陆将成为全世界最大半导体设备商场，包含中微半导体、北方华创在内的国产设备厂商有望进一步提高设备浸透率。