中证网讯（王珞）9月6日，万业企业旗下上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称凯世通）举行零部件本乡化新质生产力研讨会暨协同立异战略协作签约典礼。国内顶尖的集成电路制作企业、我国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所、元禾璞华出资办理有限公司，以及很多国内集成电路零部件企业一起参加了此次盛会。通过签定战略协作协议，各方将联合推进技能立异和产学研协作，促进上游零部件企业一体化开展，然后协助下流用户处理本乡芯片制作的连续性应战。

  凯世通在集成电路范畴活跃发挥“链主”功用，与上游很多零部件供货商建立了战略协作伙伴关系，而且联合下流运用企业安排新技能和新产品研制，然后打造了一个具有耐性、多元化特征的供应链系统。

  万业企业总裁、凯世通董事长李勇军博士表明，凯世通提前布局，现在已根本完成国产离子注入机供应链自主可控。此次战略协作的签约项目，包含微波等离子体喷枪、静电吸盘资料、真空自动化机器人、超高能射频加快器、射频电源、高精度气体流量计等多款要害零部件，致力于填补国内空白，为客户供给功能更优、本钱更低、自主可控的产品与服务处理方案。

  在上下流工业链的严密协作下，凯世通多个要害零部件项目已开花结果。结构，微波等离子体喷枪大多数都用在离子注入静电中和，相对于传统的灯丝型等离子体喷枪，可大大下降金属污染，然后进步芯片制作的良品率。这一零部件是满意AI、HBM、传感器为代表的新质生产力芯片苛刻制作要求的要害。通过系列科技攻关与研制立异，凯世通已完成要害技能打破，产品测验功能体现优异，保护本钱低，并已交付给客户进行产线验证。

  凯世通副总经理、首席技能官夏世伟介绍，离子注入机零部件品种十分之多、技能方面的要求极高。凯世通厚实推进离子注入机国产化作业，发挥链主效果，活跃拓展零部件本乡化途径。根据正向规划与协同立异的理念，凯世通联合下流运用单位与上游零部件厂商严密协作，共同开发要害零部件，有序推进国产零部件的验证作业，然后逐渐进步对离子注入机零部件核心技能的掌控性、立异性、抢先性。

  元禾璞华董事总经理陈瑜表明，凯世通以链主为桥梁将很多要害部件企业聚合在一起，不只有助于进步设备国产化率，还能加快半导体工业立异、增强工业安全性、增厚半导体新质生产力，为半导体工业协同晋级、自主可控供给了一个新的范式。

  面向未来，凯世通将持续坚持立异打破，不断支撑集成电路制作工业链稳健运营，为新质生产力开展供给不竭“芯”动力，不断带动更多国产零部件工业链，推进我国制作迈向高端。

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