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  证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现中微公司（688012）新取得一项发明专利授权，专利名为“等离子体处理设备零部件的处理办法、零部件及处理设备”，专利申请号为CN6.8，授权日为2025年4月8日。

  专利摘要：本发明揭露了一种改进刻蚀速率的处理办法及等离子体处理设备，该处理办法包含：将零部件置于一真空反响腔；将一热氧化处理的硅晶圆置于该真空反响腔内；生成高细密性硅薄膜：向真空反响腔内通入有机刻蚀气体；向真空反响腔施加一射频信号，射频信号将所述有机刻蚀气体激发为等离子体，该等离子体炮击硅晶圆，生成高细密性硅薄膜掩盖在零部件外表。本发明选用十分低成本的处理气体和镀膜工艺，完成了气体喷淋头号刻蚀腔内或许触摸到等离子体的零部件的均匀镀膜，隔绝了零部件的Y2O3涂层或Al2O3/SiC涂层与等离子体的直接触摸，然后最大极限地减少了微颗粒污染，而且安稳了有机刻蚀反响的反响速率，提高了出产均一性，下降出产成本。

  今年以来中微公司新取得专利授权50个，较去年同期减少了3.85%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研制方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

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  证券之星估值剖析提示中微公司盈余才能平平，未来营收成长性一般。归纳基本面各维度看，股价偏高。更多

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