产品介绍

  据悉，圣彼得堡理工大学的研究人员开发出了一种“光刻复合体”，可用于蚀刻出产无掩模芯片，这将有利于俄罗斯在微电子范畴技能范畴取得主动权。

  该设备综合体包含用于无掩模纳米光刻和等离子体化学蚀刻的设备，其间一种东西的本钱为500万卢布（约36.7万元人民币），另一种东西的本钱不知道。

  开发人员介绍，传统光刻技能需求用专门的掩膜板来获取图画。该设备由专业软件操控，可完成彻底自动化，随后的别的一台设备可直接用于构成纳米结构，但也能制造硅膜，例如用于舰载超压传感器。

  这不是俄罗斯初次对外发布有关光刻机的音讯， 2022年10月，俄罗斯科学院下诺夫哥罗德使用物理研究所就宣告朝光刻机范畴打开作业，该研究所希望能开发俄罗斯首台本乡光刻机，用以出产7纳米拓扑芯片。对此，业界以为，这需求数年时刻才干完成。

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