提及晶圆制造环节的重要设备,包括笔者在内的大多数对芯片生产的全部过程略知一二的消费者都会联想到光刻机。的确,光刻机在芯片量产环节的重要程度丝毫不亚于手机量产过程中的组装环节,否则三星、台积电等晶圆代工领域的巨头也不会斥巨资抢购光刻机。
但众人皆知光刻机,却不知晶圆制作的完整过程中还有一种设备的重要性与光刻机相当,该设备便是蚀刻机。不过,不同于光刻机制造领域,全球几乎被ASML一家垄断,虽然目前蚀刻机市场的份额占比依旧是西方厂商优势显著,但在诸多蚀刻机制造厂中,有一家中国蚀刻机制造企业,已经成功打破西方技术垄断。
这家中国企业当属中微半导体,其不仅是中国半导体行业领军者,更是中国唯一的蚀刻机巨头。据公开资料显示,中微半导体成立于2004年,多年来从始至终坚持自主研发,早在2018年时该公司在全世界内的相关专利申请量就达到1200多项。
虽然这一数量相比华为等中国科技巨头的专利数量而言相对较少,但并不影响中微半导体借此成为行业内的有突出贡献的公司。而且,连科技大国美国的公司都曾在2018年被曝旗下设备涉嫌侵犯中微公司专利权。由此可见,技术壁垒一旦建立,即便企业成立年限较短,但其仍具备较高的话语权,且营收成绩更是瞩目。
根据中微半导体于2月28日公布的2019年业绩快报显示,该公司在2019年实现盈利收入19.4亿元,相比2018年增长18.77%。其归母净利润更是大涨107.51%,超过1.89亿元。至于中微半导体业绩增长的原因,据公告透露,主要因为该公司在主营设备领域的业务规模不断扩张。
据澎湃新闻报道可知,中微半导体早在2017年4月便领先世界巨头IBM两个星期,提前宣布攻克5nm蚀刻机制造技术的喜讯。如今,中微半导体旗下的5nm蚀刻机更是顺利通过晶圆代工领域鼻祖台积电的认证,目前该公司已开始向台积电供货。
值得注意的是,内部人才济济的中微半导体不仅在蚀刻机制造方面超越西方科技巨头,还在薄膜设备研发制造方面打破了此前国内一直由美、德方两家企业的垄断局面,市场占有率激增至70%,成立16年便有此成绩,中微半导体未来可期。