上海微电子获得光刻机同步毛病检测的新方法和体系专利
时间: 2025-05-09 01:44:48 | 作者: 大气常压等离子清洗机
产品介绍
金融界2025年3月25日音讯,国家知识产权局信息数据显现,上海微电子配备(集团)股份有限公司获得一项名为“光刻机同步毛病检测的新方法和体系”的专利,授权公告号 CN 114690578 B,请求日期为2020年12月。
天眼查资料显现,上海微电子配备(集团)股份有限公司,成立于2002年,坐落上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册本钱26612.41万人民币,实缴本钱7451.0693万人民币。经过天眼查大数据分析,上海微电子配备(集团)股份有限公司共对外出资了10家企业,参加招投标项目140次,产业线条,此外企业还具有行政许可108个。